
Досліджено вплив параметрів тонкоплівкових і скляних діелектричних бар’єрів товщиною від 8 мкм до 1 мм на характеристики озонатора. Подано результати експериментального дослідження впливу на характеристики озонатора параметрів діелектричних бар’єрів з полімерних матеріалів (лавсану та фторопласту), кварцового скла і плівок SiO2, нанесених методом електронно-променевого випаровування в реакційному середовищі. Показано, що шорсткість електрода під діелектричним бар’єром зменшує величину напруги пробою останнього.